關於電漿蝕刻的評價, 金屬工業研究發展中心
【石墨烯鍍層之製造方法】 #中心好技術 本技術提供一種不同以往CVD石墨烯製程,利用PVD複合方式不受現行專利限制,成功建立一種創新石墨烯材料製程。以物理蒸鍍(PVD)製程,以純石墨靶材將碳原子...
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【石墨烯鍍層之製造方法】 #中心好技術 本技術提供一種不同以往CVD石墨烯製程,利用PVD複合方式不受現行專利限制,成功建立一種創新石墨烯材料製程。以物理蒸鍍(PVD)製程,以純石墨靶材將碳原子...
「先進電漿蝕刻技術」,課程將介紹最新技術-新型蝕刻技術(中性粒子束)及其發展現況 , 講師為長庚大...